[NP技報　第19号］

－プラズマCVD による炭素質膜３態－ 表紙の写真は、炭化水素系ガスを使用し、プラズマCVD 法によって鋼表面に析出させた炭素質膜の電子顕 微鏡写真です。 総合技術研究所では、数年前から島根県にあるプラズマ技術研究開発センターと共同でプラ ズマ技術の研究開発を行っています。炭素質膜は、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の実用化が進んで いますが、温度・圧力などの成膜条件によって様々な形態、構造のものが得られます。 ここに挙げた写真は、 各種成膜条件によって得られたカーボン系膜の表面形態の一例です。 写真上：柱状結晶性カーボン膜 写真中：メッシュ状DLC 膜 写真下：カーボンナノファイバー膜

• ・FE-SEM 観察条件は、倍率以外、全て同様で下記の通りです。 JEOL JSM-6700F、電圧： 5kV、エミッション電流： 10μA、（真空度9.63 × 10-5Pa）